真空等離子清洗機(jī)的反應(yīng)腔室常見(jiàn)的材質(zhì)包括石英玻璃、不銹鋼和鋁合金等，不同行業(yè)和應(yīng)用領(lǐng)域的選擇會(huì)有所區(qū)別。用于半導(dǎo)體行業(yè)的等離子清洗機(jī)大多采用鋁合金，這是為什么呢？

　　半導(dǎo)體行業(yè)用于清洗、刻蝕的等離子清洗機(jī)對(duì)真空反應(yīng)腔室的材質(zhì)選擇比較講究，畢竟處理晶圓、支架等產(chǎn)品對(duì)工藝環(huán)境的要求很高。普樂(lè)斯等離子清洗機(jī)選擇鋁質(zhì)腔體大致有以下一些原因：

　　1、 鋁合金密度低，強(qiáng)度高，超過(guò)優(yōu)質(zhì)鋼，機(jī)械加工性能比較好。

　　2、 鋁具有優(yōu)良的導(dǎo)電性、導(dǎo)熱性和抗蝕性。

　　3、材料對(duì)化學(xué)反應(yīng)的兼容性比較好，不易產(chǎn)生金屬污染、particle等。

　　4、表面處理方面鋁合金較為豐富，包括電泳、噴涂、陽(yáng)極氧化等。

　　5、趨膚深度鋁是不銹鋼的10倍以上，使得電流分布更均勻，腔體不容易發(fā)熱。

　　標(biāo)簽：半導(dǎo)體清洗機(jī)