隨著半導(dǎo)體技術(shù)不斷微縮,集成電路制造工藝正變得越來越復(fù)雜,往往需要經(jīng)過幾百甚至上千道的工藝步驟。對(duì)于先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造,每經(jīng)過一道工藝,硅片表面都會(huì)或多或少的存在顆粒污染物、金屬殘留或有機(jī)物殘留等,下面介紹激光清洗機(jī)在半導(dǎo)體元件的清洗應(yīng)用。
1、激光清洗是非接觸式的,可以通過光導(dǎo)纖維傳輸,與機(jī)器人或者機(jī)械手聯(lián)合,方便地實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)距離操作,能清洗傳統(tǒng)方法不易達(dá)到的部位;
2、激光清洗設(shè)備可以長(zhǎng)期穩(wěn)定使用,不需耗材物料,只需少量電費(fèi),維護(hù)和運(yùn)行成本低,可以方便地實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化操作,一次投入無限循環(huán)使用;
3、激光清洗能清理各種材料表面的不同類型的污染物,達(dá)到很高的潔凈度,是表面工程處理的新應(yīng)用。武漢瑞豐光電激光設(shè)備是性價(jià)比較高的,憑借多年的激光研發(fā)經(jīng)驗(yàn),產(chǎn)品技術(shù)成熟,產(chǎn)品性能安全穩(wěn)定。瑞豐光電激光電始終堅(jiān)持“質(zhì)量一、服務(wù)二、價(jià)格三”的態(tài)度,給客戶提供最優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品及服務(wù)。
標(biāo)簽:半導(dǎo)體清洗機(jī)
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