為保護極易受損的半導體集成電路芯片或電子器件免受周五環(huán)境影響,包括物理及化學影響,保證它們的各種正常的功能,利用膜技術及微細鏈接技術,將半導體元器件及氣體構(gòu)成要素,在框架或基板上布置、固定及鏈接。
?。?) 優(yōu)化引線鍵合(打線),微電子器件的可靠性有決定性影響,采用等離子清洗機有效去除鍵合區(qū)內(nèi)表面污染并使其表面活化,提高引線鍵合拉力。
?。?) 芯片粘接前處理,對芯片與封裝基板的表面進行等離子清洗,有效增加其表面活性,改善粘接環(huán)氧樹脂在其表面的流動性,提高芯片和封裝基板的粘結(jié)浸潤性,減少芯片與基板的分層,改善熱傳導能力,提高IC封裝的可靠性、穩(wěn)定性,增加產(chǎn)品的壽命。
(3) 倒裝芯片封裝,提高焊接可靠性,經(jīng)等離子體清洗可達到引線框架表面超凈化和活化的效果,成品良率比傳統(tǒng)的濕法清洗會極大的提高。
?。?) 陶瓷封裝,提高鍍層質(zhì)量,陶瓷封裝中通常使用金屬漿料印制線路板作鍵合區(qū)、蓋板密封區(qū)。在這些材料的表面電鍍Ni、Au前采用等離子體清洗,可去除有機物鉆污,明顯提高鍍層質(zhì)量。
標簽:半導體清洗機